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龙门单驱

产品用途:

 满足高速高精度产品的定制需求,适用于激光加工,CCD成像,晶圆检测等。

产品特性:

 1.X,Y工作台,可布置Z轴于平台大理石横梁;

2.龙门结构,横梁可随Y轴运动;

3.XY微米级重复定位精度;

4.最大速度1000mm/s,最大加速度1.0g

5.单轴直线度可达±1.5um,运动平面度可达±2.5um



龙门单驱
  • 技术参数
  • 外形尺寸
  • 技术参数:

    产品类型

    ZWLD-500-300


    X

    Y

    行程

    500mm

    300mm

    分辨率

    0.1um

    定位精度(补偿后)

    ±3um

    重复定位精度

    ±2um

    直线度

    3um

    平面度

    ±2.5um

    垂直度

    ±5um

    最大速度

    1000mm/s

    1000mm/s

    最大加速度

    1g

    最大负载

    10kg

    A

    1300

    B

    1340

    C

    631.3


    外形尺寸:


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